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Sub-10 nm spatial resolution for electrical properties measurements using bimodal excitation in electric force microscopy (vol 92, 023703, 2021)

Khaled Kaja 1 Denis Mariolle 1 Nicolas Chevalier 2 Adnan Naja 3 Mustapha Jouiad 4 
1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 MSC (UMR_7057) - Matière et Systèmes Complexes
3 Université Libanaise
4 LPMC - Laboratoire de Physique de la Matière Condensée - UR UPJV 2081
Type de document :
Article dans une revue
Liste complète des métadonnées
https://hal-u-picardie.archives-ouvertes.fr/hal-03627682
Contributeur : Louise DESSAIVRE Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : vendredi 1 avril 2022 - 14:16:46
Dernière modification le : vendredi 5 août 2022 - 11:58:03

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CEA | CNRS | DRT | LETI | CEA-GRE | UNIV-PARIS | UP-SCIENCES | U-PICARDIE | LPMC-UPJV

Citation

Khaled Kaja, Denis Mariolle, Nicolas Chevalier, Adnan Naja, Mustapha Jouiad. Sub-10 nm spatial resolution for electrical properties measurements using bimodal excitation in electric force microscopy (vol 92, 023703, 2021). Review of Scientific Instruments, American Institute of Physics, 2021, 92 (4), ⟨10.1063/5.0052231⟩. ⟨hal-03627682⟩

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