Sub-10 nm spatial resolution for electrical properties measurements using bimodal excitation in electric force microscopy (vol 92, 023703, 2021)

Khaled Kaja (1) , Denis Mariolle (1) , Nicolas Chevalier (2) , Adnan Naja (3) , Mustapha Jouiad (4)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 MSC - Matière et Systèmes Complexes
3 LU / ULB - الجامعة اللبنانية [بيروت] = Lebanese University [Beirut] = Université libanaise [Beyrouth]
4 LPMC - Laboratoire de Physique de la Matière Condensée - UR UPJV 2081

Domaines: Matière Condensée [cond-mat]

Khaled Kaja, Denis Mariolle, Nicolas Chevalier, Adnan Naja, Mustapha Jouiad. Sub-10 nm spatial resolution for electrical properties measurements using bimodal excitation in electric force microscopy (vol 92, 023703, 2021). Review of Scientific Instruments, 2021, 92 (4), ⟨10.1063/5.0052231⟩. ⟨hal-03627682⟩